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第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備
機(jī)型:QDE系列
外延設(shè)單腔/多片(最大3×8Inch)+潔凈真空機(jī)械手搬運(yùn), ?各盤獨(dú)立控溫,控溫精度高; ?水平層流布?xì)?分子泵排氣,控制氣體分布均勻; ?工藝進(jìn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控,精準(zhǔn)控制參數(shù);
適用領(lǐng)域
電子工業(yè)
交通運(yùn)輸
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深圳新益昌海威真空設(shè)備有限公司
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