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蒸發(fā)鍍膜工藝解析：膜層沉積原理與薄膜生長(zhǎng)特性

發(fā)布時(shí)間：2025-01-20 作者：星海威
蒸發(fā)鍍膜，作為一種廣泛應(yīng)用的物理氣相沉積（PVD）技術(shù)，其核心在于通過(guò)加熱蒸發(fā)源使固體材料升華或蒸發(fā)成蒸氣，進(jìn)而在基片表面凝結(jié)形成薄膜。這一過(guò)程不僅依賴于復(fù)雜的物理機(jī)制，還涉及多個(gè)關(guān)鍵因素，共同影響著薄膜的質(zhì)量和性能。
 
蒸發(fā)鍍膜的基本原理
蒸發(fā)鍍膜的基本原理包括三個(gè)核心步驟：加熱源和蒸發(fā)材料、蒸氣傳輸、以及蒸氣在基片表面的凝結(jié)。
加熱源和蒸發(fā)材料：
蒸發(fā)鍍膜的首要步驟是將蒸發(fā)材料加熱至足夠高的溫度，使其轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)。這一過(guò)程中，常用的加熱源有電阻加熱和電子束加熱。電阻加熱利用電流通過(guò)高電阻材料（如鎢絲或鉬舟）產(chǎn)生的焦耳熱來(lái)加熱蒸發(fā)材料，而電子束加熱則使用電子槍產(chǎn)生的高能電子束轟擊蒸發(fā)材料，將其加熱至蒸發(fā)溫度。電子束加熱效率高，適用于高熔點(diǎn)材料的蒸發(fā)。
蒸氣傳輸：
在高真空環(huán)境中，蒸發(fā)材料升華或蒸發(fā)成蒸氣。蒸氣分子通過(guò)真空室直線運(yùn)動(dòng)到達(dá)基片表面。由于真空環(huán)境中氣體分子密度極低，蒸氣分子可以以較高的自由程傳輸，減少了氣體分子的散射和碰撞，從而確保了蒸氣能夠直接、高效地傳輸至基片。
蒸氣在基片表面的凝結(jié)：
當(dāng)蒸氣分子到達(dá)基片表面時(shí)，由于基片溫度較低，蒸氣分子凝結(jié)成固態(tài)薄膜，完成鍍膜過(guò)程。在基片表面，蒸氣分子經(jīng)歷徙動(dòng)、成核、島狀生長(zhǎng)以及連續(xù)薄膜形成等階段，最終形成結(jié)構(gòu)致密的薄膜。

薄膜的生長(zhǎng)過(guò)程
薄膜的生長(zhǎng)是一個(gè)復(fù)雜而有序的過(guò)程，主要包括以下幾個(gè)階段：
1.徙動(dòng)與成核：
蒸發(fā)原子或分子被吸附在基片表面后，它們會(huì)在基片表面移動(dòng)（稱為徙動(dòng)），并與其他同類原子或分子相遇而集結(jié)，形成最初的“核”。
2.島狀生長(zhǎng)：
隨著更多原子或分子的加入，這些核逐漸生長(zhǎng)成為較大的粒子，稱為“島”。這些島在基片表面不斷長(zhǎng)大，并發(fā)生島的結(jié)合，形成通道網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，也稱迷津結(jié)構(gòu)。
3.連續(xù)薄膜形成：
繼續(xù)蒸積加入原子或分子，島不斷長(zhǎng)大并發(fā)生結(jié)合，最終填補(bǔ)迷津通道間的空洞，形成連續(xù)薄膜。如果還繼續(xù)蒸積，將在連續(xù)膜的基礎(chǔ)上重復(fù)上述過(guò)程，使薄膜不斷地增加厚度。

影響薄膜質(zhì)量和性能的關(guān)鍵因素
蒸發(fā)鍍膜過(guò)程中，多個(gè)因素共同影響著薄膜的質(zhì)量和性能，包括：
1.蒸發(fā)率和真空度：
蒸發(fā)率決定了薄膜的生長(zhǎng)速度，而真空度則影響著蒸氣分子的傳輸效率和薄膜的純度。高真空環(huán)境能夠減少氣體分子對(duì)蒸氣傳輸?shù)母蓴_，提高薄膜質(zhì)量。
2.基片溫度和加熱方式：
基片溫度影響著蒸氣分子的凝結(jié)速率和薄膜的附著力。不同的加熱方式（如電阻加熱、電子束加熱）對(duì)蒸發(fā)均勻性有影響，進(jìn)而影響薄膜的均勻性。
3.蒸發(fā)材料的性質(zhì)：
蒸發(fā)材料的熔點(diǎn)、蒸氣壓等物理性質(zhì)直接影響其蒸發(fā)速率和薄膜的生長(zhǎng)機(jī)理。
4.基片表面狀態(tài)：
基片表面的平整度、清潔度和活性等都會(huì)影響蒸氣分子的吸附和凝結(jié)，進(jìn)而影響薄膜的質(zhì)量和性能。
 
設(shè)備應(yīng)用


光學(xué)鍍膜機(jī)

星海威光學(xué)鍍膜機(jī)配備270°E型雙電子槍蒸發(fā)源。雙電子槍設(shè)計(jì)能夠產(chǎn)生高強(qiáng)度的電子束，這些電子束在蒸發(fā)源內(nèi)高效地加熱并蒸發(fā)材料，使得鍍膜過(guò)程更加迅速和高效。電子束的精確控制能有效提高鍍膜的質(zhì)量與效率。
同時(shí)，設(shè)備還配備了IAD離子輔助成膜技術(shù)。這一技術(shù)通過(guò)引入離子束對(duì)鍍膜表面進(jìn)行轟擊，有效提高了光學(xué)膜層的特性，如硬度、耐磨性和抗腐蝕性。同時(shí)，離子輔助成膜還能顯著改善基片表面的活性，增強(qiáng)膜層與基片之間的附著力，使得鍍膜更加牢固和持久。